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स्पटरिंग लक्ष्य

स्पटरिंग लक्ष्य का उपयोग पतली फिल्म निर्माण के लिए भौतिक वाष्प जमाव (पीवीडी) प्रक्रियाओं में किया जाता है। पोर्टफोलियो में उच्च शुद्धता वाले सोने के लक्ष्य, प्लैटिनम लक्ष्य और रूथेनियम लक्ष्य शामिल हैं, जो अर्धचालक उपकरणों, इलेक्ट्रॉनिक घटकों, सेंसर और कार्यात्मक कोटिंग्स का समर्थन करते हैं।
नियंत्रित शुद्धता स्तर, माइक्रोस्ट्रक्चर प्रबंधन और सटीक लक्ष्य निर्माण के माध्यम से, सामग्री माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक विनिर्माण में स्थिर स्पटरिंग व्यवहार और लगातार फिल्म जमाव प्रदर्शन प्रदान करती है।
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उत्पाद का परिचय

मुख्य उत्पाद

High-Purity Gold Targets

उच्च-शुद्धता वाले सोने के लक्ष्य

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Platinum Targets

प्लैटिनम लक्ष्य

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Ruthenium Targets

रूथेनियम लक्ष्य

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विशेषताएँ

 

हम स्पटरिंग के दौरान कण उत्पादन को कम करने, निरंतर और स्थिर फिल्म गुणवत्ता सुनिश्चित करने के लिए समान आंतरिक सूक्ष्म संरचनाओं के साथ कीमती धातु लक्ष्य प्रदान करते हैं।

  • उच्च शुद्धता
  • उच्च घनत्व
  • एकसमान अनाज संरचना
  • स्थिर स्पटरिंग प्रदर्शन
  • अच्छी फिल्म निरंतरता
  • अनुकूलन योग्य आकार और संबंध

 

स्पटरिंग लक्ष्य सामग्री गुण

 

वर्ग

विवरण

सामग्री प्रणाली

कीमती धातु जमाव लक्ष्य

उत्पाद प्रपत्र

समतल लक्ष्य और अनुकूलित ज्यामिति

मिश्र धातु प्रणाली

उच्च शुद्धता वाला सोना, प्लैटिनम और रूथेनियम सामग्री

प्रदर्शन

विश्वसनीय फिल्म गुणवत्ता और आसंजन के साथ स्थिर स्पटरिंग प्रक्रिया

प्रक्रियाओं

भौतिक वाष्प जमाव (पीवीडी)

आयामी नियंत्रण

नियंत्रित सहनशीलता के साथ परिशुद्धता निर्माण

आपूर्ति प्रारूप

मानक आकार और उपकरण-आधारित अनुकूलन

 

 

विभिन्न उद्योगों में स्पटरिंग लक्ष्य सामग्री अनुप्रयोग

 

  • अर्धचालक और आईसी:वेफर निर्माण में प्रवाहकीय परतों, अवरोध परतों और बीज परतों के जमाव के लिए उपयोग किया जाता है।
  • चुंबकीय भंडारण मीडिया:रूथेनियम (आरयू) लक्ष्य मुख्य रूप से चुंबकीय रिकॉर्डिंग मीडिया और एचडीडी के लिए अंडरलेयर की तैयारी में लागू होते हैं।
  • सेंसर और एमईएमएस:प्लेटिनम (पीटी) और गोल्ड (एयू) लक्ष्य सेंसर इलेक्ट्रोड, एमईएमएस और सटीक परीक्षण घटकों पर पतली फिल्म जमाव के लिए उपयुक्त हैं।
  • ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरण:ऑप्टिकल घटकों और प्रकाश उत्सर्जित करने वाले उपकरणों में धातुकरण कोटिंग्स और इलेक्ट्रोड जमाव के लिए उपयोग किया जाता है।
  • परिशुद्धता इलेक्ट्रॉनिक घटक:कई इलेक्ट्रॉनिक घटकों पर सतह चालकता, सुरक्षा और कार्यात्मक कोटिंग्स के लिए विनिर्माण आवश्यकताओं को पूरा करता है।

 

 

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